সুপারক্রিটিকাল কো -ক্লিয়ানিং প্রযুক্তি

চিপ উত্পাদন প্রক্রিয়াটি ন্যানো যুগে প্রবেশের পরে, একটি আপাতদৃষ্টিতে পরস্পরবিরোধী সমস্যা প্রকাশিত হয়েছিল: কীভাবে ভঙ্গুর ন্যানোস্ট্রাকচারকে ক্ষতি না করে গভীর গর্ত এবং খন্দকের অবশিষ্টাংশগুলি সম্পূর্ণরূপে সরিয়ে ফেলা যায়? যদিও traditional তিহ্যবাহী জলীয় এবং প্লাজমা পরিষ্কার করা তরলটির পৃষ্ঠের উত্তেজনার কারণে উচ্চ লিফট-টু-দিক অনুপাতের কাঠামোগুলিকে ক্ষতি করতে পারে, সুপারক্রিটিকাল কার্বন ডাই অক্সাইড (এসসিও) পরিষ্কারের প্রযুক্তি, এর অনন্য শারীরিক বৈশিষ্ট্য সহ, অর্ধপরিবাহী পরিষ্কারের নিয়মগুলি আবার লিখছে।

 

সুপারক্রিটিকাল কো ₂: যখন গ্যাস এবং তরল মধ্যে সীমানা অদৃশ্য হয়ে যায়

কার্বন ডাই অক্সাইড যখন সমালোচনামূলক বিন্দুর (তাপমাত্রা 31.1 ডিগ্রি, চাপ 7.38 এমপিএ) এর উপরে থাকে, তখন এটি একটি অতিপ্রাকৃত অবস্থায় প্রবেশ করে যা গ্যাস বা তরল নয়। এই মুহুর্তে, এটি বিঘ্নিত বৈশিষ্ট্যগুলি প্রদর্শন করে:

শূন্য পৃষ্ঠের উত্তেজনা: 100: 1 এরও বেশি অনুপাতের সাথে ন্যানোপোরগুলি প্রবেশ করতে পারে;

বায়বীয় প্রসারণ: তরল দ্রাবকগুলির চেয়ে 10 গুণ দ্রুত, 3 সেকেন্ডের মধ্যে 1 মাইক্রন গভীর কাঠামো অনুপ্রবেশ করে;

তরল-গ্রেড দ্রবণীয়তা: এটি ধাতব অবশিষ্টাংশ এবং জৈব দূষকগুলি দ্রবীভূত করার জন্য একটি বিশেষ পরিষ্কারের এজেন্ট বহন করতে পারে this

0290-35673-03 ডিএক্সজেড টিওস চেম্বার অ্যাসি আরপিএস সহ

সুপারক্রিটিকাল কো ₂ পরিষ্কার কেন?

পরিষ্কার শক্তি যা পদার্থবিজ্ঞানের সীমা ঠেলে দেয়

ডিআরএএম ক্যাপাসিটার পরিষ্কার: আধুনিক ডিআরএএম একটি 60: 1 দিক অনুপাত (20 এনএম ব্যাস এবং 1.2 মিমি গভীরতা) সহ একটি নলাকার ক্যাপাসিটার ব্যবহার করে, যা প্রচলিত ভেজা পরিষ্কারের তরলগুলির পৃষ্ঠের উত্তেজনার কারণে স্কো দ্বারা 100% আচ্ছাদিত (স্যামসুং এই প্রযুক্তি 1 এনএম প্রক্রিয়াতে প্রয়োগ করেছে);

3 ডি ন্যান্ড পরিষ্কার: 232- স্তর নান্দ মেমরি হোল গভীরতা 8 মিমি পর্যন্ত এবং মাত্র 40 এনএম (200: 1 দিক অনুপাত) এর ব্যাস।

শূন্য ক্ষতি সহ কোমল প্রক্রিয়া

ফিনফেট ফিনগুলিতে পারমাণবিক স্তরের ক্ষতি এড়িয়ে এনে কোনও উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি প্লাজমা বোমা হামলা নয়;

কোনও আর্দ্রতার অবশিষ্টাংশ তামা আন্তঃসংযোগগুলির (10 এনএম লাইনের প্রস্থ) গ্যালভ্যানিক জারা হওয়ার ঝুঁকি দূর করে না।

পরিবেশ সুরক্ষা এবং ব্যয় সুবিধা

সিও ₂ পুনর্ব্যবহারযোগ্য, আইসোপ্রোপাইল অ্যালকোহল (আইপিএ) পরিষ্কারের তুলনায় 70% পর্যন্ত প্রক্রিয়া প্রতি গ্রাহকযোগ্যদের ব্যয় হ্রাস করে;

কোনও বিপজ্জনক বর্জ্য স্রাব, traditional তিহ্যবাহী পরিষ্কারের চেয়ে 95% কম রাসায়নিক বর্জ্য জল।